TopMap Metro.Lab 白光干涉儀（3D形貌儀）

Polytec旗下的 TopMap Metro.Lab，是一款的高精度白光干涉儀（相干掃描干涉儀），TopMap Metro.Lab 白光干涉儀（3D形貌儀）的大垂直測量范圍與納米級(jí)分辨率脫

穎而出。這一特性，使得 Metro.Lab 形貌測量系統(tǒng)在針對(duì)大面積表面及結(jié)構(gòu)的平面度、臺(tái)階高度和平行度進(jìn)行非接觸式測量時(shí)表現(xiàn)，哪怕面對(duì)柔軟嬌貴、極易受損的材料，

也能精準(zhǔn)探測，毫無壓力。

作為一套完備的測量站設(shè)備，一旦您有測量各類表面大面積形貌的需求，TopMap Metro.Lab 無疑是。它擁有高達(dá) 70 mm的大垂直測量范圍，即便是在極為嚴(yán)苛、復(fù)雜的測

量條件下，也能穩(wěn)定達(dá)成亞nm 級(jí)分辨率的測量，精準(zhǔn)度令人贊嘆。

TopMap Metro.Lab 白光干涉儀的優(yōu)勢：

37x28mm大單像場(擴(kuò)展尺寸 87 x 78 毫米）

70mm靈活、較大的 Z 范圍

2.83nm高垂直分辨率

48個(gè)月免費(fèi)保修 + 軟件終身更新

TopMap Metro.Lab 白光干涉儀的亮點(diǎn)：

● 采用光學(xué)干涉原理，非接觸式測量

● 遠(yuǎn)心鏡頭具備性能，即便對(duì)于位置低洼的點(diǎn)位，也能精準(zhǔn)測量

● Z向測量范圍達(dá) 70 mm，非常靈活

● 即使是較大被測面，亦能快速測量

● 增強(qiáng)版本的測量視場大幅提升，可達(dá)約 80×80 mm2

● 軟件操作簡便且支持自動(dòng)化運(yùn)行，可生成符合 DIN/ISO 標(biāo)準(zhǔn)的參數(shù)

● 憑借智能表面掃描技術(shù)，幾乎能夠應(yīng)對(duì)任何表面，精準(zhǔn)檢測反射率差異極大的表面

● 可集成于防塵、減震的工作站中，以便在車間使用

● 4 年免費(fèi)保修和終身軟件更新

規(guī)模小、預(yù)算少

TopMap Metro.Lab 性價(jià)比高，無論是在計(jì)量實(shí)驗(yàn)室，還是在緊鄰生產(chǎn)線的場所，于各類工作場景下都具吸引力。相較于傳統(tǒng)的接觸式測量方法，它能夠開展更為全面深入的表面分析。同所有 TopMap 系統(tǒng)一樣，其開放式軟件架構(gòu)賦予用戶強(qiáng)大的自主性，您不僅能夠針對(duì)常規(guī)任務(wù)編寫程序，還能定制專屬的用戶界面 。

規(guī)格表

1. 由試驗(yàn)數(shù)據(jù)取整，以及幾臺(tái)TMS-150 TopMap Metro.Lab測量不同高度的樣品的平面度的統(tǒng)計(jì)值。在平面鏡上測量(使用至大視場的95%)。

2. 相關(guān)曲線相位估計(jì)

3. 相關(guān)曲線包絡(luò)線估計(jì)

4. 試驗(yàn)測定的典型結(jié)果，該測量是在校準(zhǔn)過的PTB標(biāo)準(zhǔn)深度模型，A1型(ISO 5436-1)上進(jìn)行的

5. 在可重復(fù)條件下的一系列測量值的變化，幾臺(tái)同型號(hào)設(shè)備的測試數(shù)據(jù)的平均值

6. 可重復(fù)條件下測量21次

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