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高精度微型振鏡/壓電掃描鏡該系統(tǒng)是一個完整的光束控制系統(tǒng)。在緊湊的體積（直徑12mm）中包含壓電馬達、位置傳感器、軸承以及內(nèi)置控制器。在微型振鏡上安裝了一個鍍鋁膜的鏡子，每秒可旋轉(zhuǎn)1100°，精度可達到0.025°。

大功率/高壓壓電促動器精密定位平臺，昊量光電推出各種大功率/高壓壓電促動器產(chǎn)品，具有高負載力，高共振頻率，大行程等特點，是材料表征，傳感器測試，脈沖發(fā)生等領域的有力工具。

納米精度電動平移臺。電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進電機驅(qū)動的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進電機的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機和控制器。驅(qū)動電機及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標參數(shù)有位移精度、行程、負載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

納米精度電動升降臺.，電控位移臺也稱為電控平移臺是一種依靠步進電機驅(qū)動的執(zhí)行裝置，通過絲杠將步進電機的角位移轉(zhuǎn)換為平臺位移。通常情況下該系統(tǒng)由三部分組成：位移臺、電機和控制器。驅(qū)動電機及控制器主要決定驅(qū)動扭矩、分辨率、加減速度、信號處理等性能參數(shù)。位移臺則是系統(tǒng)的心臟，主要指標參數(shù)有位移精度、行程、負載、穩(wěn)定性、適用環(huán)境等。

U-XLS系列壓電馬達線性平移臺擁有*的特點。該平移臺是一款兼具大行程和高精度的壓電馬達位移平臺。 該平移臺采用無聲的超聲波馬達，超聲波馬達是通過一個耦合元件抵住移動導向轉(zhuǎn)子，在高頻電流下壓電陶瓷促動器被激發(fā)產(chǎn)生超聲波振動，促動器的變形使耦合元件相對于轉(zhuǎn)子產(chǎn)生周期性的對角運動，每個循環(huán)的進給為幾個納米，高頻的信號，可以使轉(zhuǎn)子高速的運動。因此AU-XLS系列壓電馬達平移臺的Z大速度可達到400m

單軸壓電掃描臺/納米平移臺采用壓電陶瓷直推驅(qū)動，以柔性鉸鏈為運動副，使其結(jié)構(gòu)緊湊、擁有小的體積、無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點。

超緊湊線性平移臺（亞微米）是集動力系統(tǒng)、反饋系統(tǒng)和控制系統(tǒng)于一身的微機械系統(tǒng)。在緊湊的空間中（29 x 20 x 10 mm）包含一個世界上Z小的壓電馬達和IC驅(qū)動、非接觸式磁感應陣列位置傳感器和PID控制器。